自复叠式制冷机组是一种采用多元混合工质、通过单压缩机实现宽温区制冷的特殊系统，在半导体、低温实验等领域有重要应用。
自复叠式制冷机组工作原理
混合工质分凝：采用沸点差异显著的混合制冷剂（如R23/R134a/R404A），通过冷凝蒸发器逐级分离高低沸点组分。
单压缩多级制冷：
压缩机排气→冷凝器→一级气液分离器→高沸点组分（如R134a）节流制冷（中温段）。
低沸点组分（如R23）继续进入二级回路→深冷蒸发器→*终复叠回压缩机。
自复叠式制冷机组在半导体行业应用优势
宽温区覆盖：单系统可实现-80℃~+150℃范围（传统复叠需多压缩机）。
光刻特殊场景：
EUV光刻机的掩模版冷却（需-50℃以下防热变形）。
低温光刻胶处理（如某些电子束光刻胶需-30℃存储）。
节能性：比传统复叠系统减少30%以上能耗（无中间温度压缩机）。
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